目前安捷倫科技公司宣布其 B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀——業(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀——增強(qiáng)了源表(SMU)和軟件功能。

全新 B1514A 50-μs 脈沖中等電流 SMU 可在 30V/1A 范圍內(nèi)提供更快速的脈沖，并提供類似于示波器的視圖。全新 B1511B 中等功率 SMU 以較低價(jià)格提供 0.1 fA 低電流測(cè)量功能，并配有可選的自動(dòng)傳感和開(kāi)關(guān)單元。最新版 EasyEXPERT 5.5 軟件使用超過(guò) 300 個(gè)現(xiàn)成可用的應(yīng)用測(cè)試，支持手動(dòng)操作，無(wú)需復(fù)雜編程即可實(shí)行遠(yuǎn)程測(cè)試。

安捷倫在八十年代初期推出了業(yè)界首款數(shù)字參數(shù)分析儀，一直以來(lái)不斷為客戶提供出色的參數(shù)測(cè)試性能與價(jià)值。在此基礎(chǔ)上，全新 B1500A 能夠表征 IV(0.1 fA – 1 A/0.5 μV – 200 V)、電容測(cè)試(1 kHz – 5 MHz)和低至 ns 級(jí)的超快速脈沖/瞬態(tài) IV 測(cè)量。

B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀的增強(qiáng)功能包括：

使用 B1514A 50 μs 脈沖中等電流 SMU 進(jìn)行更快速的脈沖測(cè)量。增強(qiáng)型分析儀可以執(zhí)行低至 50 μs 的脈沖測(cè)量，脈寬范圍是傳統(tǒng) SMU 的 1/10。此外，該儀器還提供廣泛的源范圍(高達(dá) 30 V / 1A)和多種功能，以及電壓/電流可編程性。脈沖 IV 測(cè)量通常用于表征目前先進(jìn)的材料和器件。B1514A 通過(guò) EasyEXPERT 示波器視圖監(jiān)測(cè)實(shí)際電壓和電流波形。借助這個(gè)特性，用戶能夠充滿信心地驗(yàn)證脈沖測(cè)量設(shè)置，快速而簡(jiǎn)單地優(yōu)化測(cè)量參數(shù)。

使用全新 B1511B 中等功率 SMU 與自動(dòng)傳感和開(kāi)關(guān)單元，以較低成本進(jìn)行低至 0.1 fA 的極低電流測(cè)量。這將會(huì)實(shí)現(xiàn)精確的低電流表征(例如漏電流)，從而加快下一代器件的研發(fā)進(jìn)程。

使用 EasyEXPERT 5.5 輕松完成器件表征。更新后的軟件使用遠(yuǎn)程控制功能來(lái)執(zhí)行內(nèi)置的應(yīng)用測(cè)試，通過(guò)圖形用戶界面控制開(kāi)關(guān)矩陣，并能擴(kuò)展應(yīng)用程序庫(kù)。它還支持 B1514A 50 μs 脈沖中等電流 SMU 的示波器視圖。EasyEXPERT 是一款在 Windows 7 中運(yùn)行、基于 GUI 的軟件;它提供高效、可重復(fù)的器件表征，覆蓋了交互式手動(dòng)測(cè)量和半自動(dòng)晶圓上測(cè)試。

Agilent B1500A 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀結(jié)合了全新 B1514A 和 B1511B SMU 模塊以及 EasyEXPERT 軟件，可以構(gòu)成一個(gè)全面的器件表征解決方案，該方案具備多種功能、極高的測(cè)量可靠性、高效而可重復(fù)的測(cè)量。它支持所有先進(jìn)的參數(shù)測(cè)試測(cè)量，可對(duì)器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無(wú)源器件或任何其它類型的電子器件進(jìn)行電氣表征和評(píng)測(cè)。